Il punto di rugiada è la temperatura alla quale il vapore acqueo presente in un gas raggiunge la saturazione e comincia a condensare. Più il gas è secco, più bassa è quella temperatura: un SF6 in buone condizioni dà punti di rugiada sotto i −36 °C, e valori vicini a 0 °C indicano una contaminazione grave.
Conta perché l'acqua riduce la rigidità dielettrica del gas e, combinata con i prodotti della decomposizione da arco, forma acidi che attaccano gli isolanti solidi e le superfici metalliche all'interno della cella. L'umidità entra lentamente da guarnizioni, passanti e durante le stesse operazioni di riempimento.
Si misura con igrometri a specchio raffreddato o sensori capacitivi integrati negli analizzatori di SF6, che danno la lettura in °C di punto di rugiada o convertita in ppmv. La IEC 60480 fissa i limiti di riutilizzo del gas recuperato; oltre quelli occorre essiccarlo prima di reimmetterlo nell'apparecchiatura.