La rigidità dielettrica è il valore di campo elettrico oltre il quale un materiale isolante smette di esserlo e si produce la scarica. Si esprime come gradiente, in kilovolt per millimetro, o come tensione di rottura per una distanza tra elettrodi normalizzata, che è la forma abituale nelle prove sull'olio.
È il parametro che stabilisce quanta tensione regge davvero un'apparecchiatura, e cala con l'umidità, con le particelle in sospensione e con l'invecchiamento del materiale. In un olio da trasformatore, per esempio, poche parti per milione d'acqua possono dimezzarla.
La prova tipica consiste nell'innalzare la tensione tra due elettrodi separati da una distanza normalizzata finché scocca l'arco, ripetendo la sequenza più volte e facendone la media. Nell'SF6 la rigidità è circa tre volte quella dell'aria a pari pressione, ragione per cui si impiega in apparecchiature compatte.