El punto de rocío es la temperatura a la que el vapor de agua presente en un gas alcanza la saturación y empieza a condensar. Cuanto más seco está el gas, más baja es esa temperatura: un SF6 en buen estado da puntos de rocío por debajo de −36 °C, y valores próximos a 0 °C indican una contaminación grave.
Importa porque el agua reduce la rigidez dieléctrica del gas y, combinada con los productos de la descomposición por arco, forma ácidos que atacan los aislantes sólidos y las superficies metálicas del interior de la celda. La humedad entra lentamente por juntas, pasatapas y durante las propias operaciones de llenado.
Se mide con higrómetros de espejo enfriado o sensores capacitivos integrados en los analizadores de SF6, que dan la lectura en °C de punto de rocío o convertida a ppmv. La IEC 60480 fija los límites de reutilización del gas recuperado; por encima de ellos hay que secarlo antes de devolverlo al equipo.