O ponto de orvalho é a temperatura a que o vapor de água presente num gás atinge a saturação e começa a condensar. Quanto mais seco está o gás, mais baixa é essa temperatura: um SF6 em bom estado dá pontos de orvalho abaixo de −36 °C, e valores próximos de 0 °C indicam uma contaminação grave.
Importa porque a água reduz a rigidez dielétrica do gás e, combinada com os produtos da decomposição por arco, forma ácidos que atacam os isolantes sólidos e as superfícies metálicas do interior da cela. A humidade entra lentamente por juntas, buchas e durante as próprias operações de enchimento.
Mede-se com higrómetros de espelho arrefecido ou sensores capacitivos integrados nos analisadores de SF6, que dão a leitura em °C de ponto de orvalho ou convertida em ppmv. A IEC 60480 fixa os limites de reutilização do gás recuperado; acima deles há que secá-lo antes de o devolver ao equipamento.