Le point de rosée est la température à laquelle la vapeur d'eau présente dans un gaz atteint la saturation et commence à condenser. Plus le gaz est sec, plus cette température est basse : un SF6 en bon état donne des points de rosée inférieurs à −36 °C, et des valeurs proches de 0 °C signalent une contamination grave.
Cela importe parce que l'eau abaisse la rigidité diélectrique du gaz et, combinée aux produits de la décomposition par arc, forme des acides qui attaquent les isolants solides et les surfaces métalliques à l'intérieur de la cellule. L'humidité entre lentement par les joints, les traversées et lors même des opérations de remplissage.
Elle se mesure avec des hygromètres à miroir refroidi ou des capteurs capacitifs intégrés aux analyseurs de SF6, qui donnent la lecture en °C de point de rosée ou convertie en ppmv. La CEI 60480 fixe les limites de réutilisation du gaz récupéré ; au-delà, il faut le sécher avant de le réinjecter.